近年来半导体制造行业飞速发展，在带给人们新生活体验的同时，也给环境带来一定影响。半导体芯片制造过程要消耗大量化学药液，如硫酸、氢氟酸、盐酸等，如果处理不好就会污染当地环境。一个中等体量的芯片制造厂每天就要消耗近5000吨的水，产生同量的废水。因此，降低化学药品和水消耗、安全处理废水成为半导体绿色制造的关键环节。

为此很多人都在不断努力，探寻解决之道。位于太湖之畔无锡的创业者温子瑛已是花甲之年，20多年来她奔走于这条充满挑战的道路，致力于打造芯片清洁神器，降低生产污染。

温子瑛出生于一个化学世家，是一位“视事业为终身爱好”的人。父母都是大学化学老师，从小受到父母的影响，热爱科学。她本人所学也是化学专业，因工作机缘，温子瑛接触了半导体制造。对于这份职业，她充满感情：“芯片制造是一个充满了各种挑战的行业，我很庆幸此生与它结缘”。

工作期间，温子瑛发现半导体芯片制造过程，经常用到的湿处理工艺对环境和安全存在很大的隐患，它类似于水槽里洗碗洗餐盘的方式。一条月产5万片的芯片生产线，每天要消耗上万吨的超纯水和上百吨的超纯化学液，同时产生大量的废液。这些废液的安全处理，又是令人非常头疼的过程。她反复地思考，认为应该有更好的处理方法。

温子瑛想到了一种用非常少的化学液就能完成工艺要求的替代方法，并申请到了发明专利。从此，便开始了十几年漫长的从0到1的发明和创业过程。非常幸运的是，这个项目在研发初期，就得到了一家世界领先的半导体芯片制造企业多年的无偿支持，完成了原理认证、实验样机的设计、制造、测试和应用。回国之后又得到了“国家科技重大专项”的支持，完成了实验样机的产品化和2款细分市场产品的产业化。

“环境问题是大事，非小事。” 温子瑛致力于从源头解决污染排放，而不是先排放后治理。她和团队研发的动态晶圆湿处理技术，通过对化学液精确的操控，实现毫米级流动的薄层，实现对晶圆表面的各种处理。提高湿处理能力的同时节省了99%的超纯水和80%化学液的用量，减少了大量废液的排放，单片清洁时间也可以节省50%。目前，已申请国内外发明专利100多项，首款产品还获得了“中国半导体创新产品和技术”奖。

辛苦的研发过程，让温子瑛多年无法陪伴家人，这也是她心头一直深感愧疚的。温子瑛有一个幸福的家庭，有体贴的丈夫和懂事的女儿。创业13年与家人分隔两地聚少离多，她坦言因创业降低了家庭的质量，但是家人的支持，让忙于事业的温子瑛充满幸福，如今，已年逾60岁的温子瑛依然在为梦想奋斗。

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制片人：闫 琼

新媒体主管：李春妍

本期编辑：邵冠豪

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