1.国内首个量子计算产业知识产权联盟成立

2.半导体产业知识产权运营中心在江苏无锡启动

3.【专利解密】东方晶源提高电子束量测设备的自动对焦效率

4.清华大学研究团队向高E/N场寻求突破离子迁移分析低分辨率的局限

1、国内首个量子计算产业知识产权联盟成立

集微网消息，3月23日，“量子计算产业知识产权联盟暨量子计算专利池成立大会”召开。

图片来源：启科量子

启科量子消息显示，量子计算产业知识产权联盟由百度和北京量子信息科学研究院联合北京地区量子计算软硬件领域具有代表性的创新主体共同发起的国内首支量子计算领域的知识产权联盟，旨在联合国内量子计算产业力量、凝聚产业共识，通过自主知识产权的保护和运用，共同保护和促进中国量子计算产业的发展，推动量子计算标准化和产业化。

据悉，首批成员单位共计8家，涵盖了从量子硬件，包括离子阱、超导、光量子，到量子软件、量子应用等量子计算全产业链。

量子计算专利池则是在量子计算产业知识产权联盟管理下成立的专利池，用于推进量子计算专利技术的创新发展、推动量子计算技术标准的制定和实施以及加强量子计算专利技术的转化运用。据人民日报报道，后续专利池将重点布局量子测控、量子安全与加密、量子架构与软件、量子纠错、量子算法与应用等7大量子产业领域。

2、半导体产业知识产权运营中心在江苏无锡启动

图源：无锡滨湖发布

集微网消息，3月26日，半导体产业知识产权运营中心在无锡启动。

无锡滨湖发布消息称，此次启动运营的半导体产业知识产权运营中心，是江苏省内首个由国家知识产权局批复支持建设的产业知识产权运营中心，由滨湖区和金杜长三角知识产权运营中心共同合作建设，将着眼“创新引领、资产运营、资本助推、产业融合”，加速半导体产业高价值专利项目的创造产出和产业化应用。

据悉，2022年全年滨湖区半导体产业集群实现业务收入105.3亿元，同比增长20.5%；预计到2024年，滨湖区半导体产业规模突破140亿元，相关细分领域设计水平进入国内领先阵营，第三代半导体技术能力对关键应用领域形成有力支撑，以CPU、FPGA、手机射频前端等为代表的高端芯片产品取得进一步的突破。

3、【专利解密】东方晶源提高电子束量测设备的自动对焦效率

【爱集微点评】东方晶源的电子束检测专利，采用变步长的方式进行电子束量测设备自动对焦过程中的粗聚焦，使得在进行粗聚焦时所使用的粗聚焦搜索步长更加灵活，最终有效提高了电子束量测设备的自动对焦效率。

集微网消息，电子束缺陷检测是集成电路中用于良率监控的关键检测项，近日东方晶源就凭借电子束检测项目登上了2022“科创中国”先导技术榜。

现有的自动聚焦过程主要分为两个核心部分，一是图像清晰度评估，二是搜索策略。其中，聚焦搜索策略直接影响自动对焦的速率。在相关技术中，通常会采用爬山算法搜索策略进行自动对焦。爬山算法搜索策略是基于图像清晰度进行的，其本质是一个图像清晰度寻优的问题。其中，自动聚焦爬山搜索分为粗聚焦和细聚焦两步，粗聚焦和细聚焦过程均采用定步长爬山搜索，这就使得在寻找出最清晰图像位置时需要花费较长的时间，从而使得自动聚焦时长较长，影响了自动聚焦的速率。。

为此，东方晶源于2021年11月5日申请了一项名为“基于电子束量测设备的自动对焦方法和装置、设备及存储介质”的发明专利（申请号：202111305934.2），申请人为东方晶源微电子科技（北京）有限公司。

图1基于电子束量测设备自动对焦方法的流程图

图1为本专利提出的一种基于电子束量测设备自动对焦方法的流程图，首先在步骤S100中，获取电子束量测设备中当前通道所采集到的多张检测图像。在获取到电子束量测设备当前通道采集到的多张检测图像之后，即可执行步骤S200，根据多张检测图像的清晰度评估结果自适应调整粗聚焦搜索步长，并根据调整后的粗聚焦搜索步长对电子束量测设备进行粗聚焦，确定最佳粗聚焦位置。然后，再通过步骤S300，以最佳粗聚焦位置为搜索中心，按照当前的粗聚焦搜索参数采集预设张数的样品图像，并根据采集到的预设张数的样品图像的清晰度评估结果进行细聚焦搜索得到聚焦结果。

图2 自动对焦方法中进行图像清晰度评估的流程图

图2为自动对焦方法中进行图像清晰度评估的流程图，在通过步骤S100，获取到电子束量测设备当前通道采集到的N张检测图像之后，即可执行步骤S210，对获取到的N张检测图像分别进行直方图规定化，然后在步骤S220中对直方图规定化的检测图像进行中值滤波。接着通过步骤S231对经过直方图规定化处理和中值滤波后的检测图像进行傅里叶变换，得到相应的频谱直方图，并依次通过步骤S232，将得到的各检测图像的频谱直方图中的频谱分别归一化到多个区间。同时在步骤S233和S234中对归一化后的频谱直方图进行加权求和得到各检测图像的评估曲线。

在对直方图规定化后的检测图像进行中值滤波之后，还包括步骤S230’对中值滤波后的检测图像进行平均局部方差计算，得到相应的参考分数曲线。然后，再通过步骤S240、S250，对所得到的评估分数曲线和参考分数曲线进行归一化，并计算各评估分数曲线分别与参考分数曲线的相关性。

步骤S260中，由计算得到的各相关性中选取出相关性最高的评估分数曲线作为最终图像清晰度评估结果。最后，再执行步骤S270，输出相关性最高的一组评估分数曲线。通过以上步骤即可完成对采集到的N张检测图像的清晰度评估，得到相应的清晰度评估结果。然后再根据所得到的清晰度评估结果确定相应的粗聚焦搜索步长，最后再根据确定的粗聚焦搜索步长进行粗聚焦搜索，以确定最佳粗聚焦位置。

简而言之，东方晶源的电子束检测专利，采用变步长的方式进行电子束量测设备自动对焦过程中的粗聚焦，使得在进行粗聚焦时所使用的粗聚焦搜索步长更加灵活，最终有效提高了电子束量测设备的自动对焦效率。

东方晶源是一家专注于集成电路良率管理的企业，坚持对电子制造技术持续进行创新和研发，在集成电路良率管理方面先后获得多次荣誉和奖项。东方晶源以电子束检测技术为代表，持续为客户提供高品质的解决方案和产品，希望今年可以再创辉煌。

关于爱集微知识产权

“爱集微知识产权”由曾在华为、富士康、中芯国际等世界500强企业工作多年的知识产权专家、律师、专利代理人、商标代理人以及资深专利审查员组成，熟悉中欧美知识产权法律理论和实务。依托爱集微在ICT领域的长期积累，围绕半导体及其智能应用领域，在高价值专利培育、投融资知识产权尽职调查、上市知识产权辅导、竞争对手情报策略、专利风险预警和防控、专利价值评估和资产盘点、贯标和专利大赛辅导等业务上具有突出实力。在全球知识产权申请、挖掘布局、专利分析、诉讼、许可谈判、交易、运营、一站式托管服务、专利标准化、专利池建设等方面拥有丰富的经验。我们的愿景是成为“ICT领域卓越的知识产权战略合作伙伴”。

4、清华大学研究团队向高E/N场寻求突破离子迁移分析低分辨率的局限

生物分子的结构解析与相关生物学功能的关联研究已成为现今生命科学的前沿。生物分子存在多级结构，而其结构复杂度的一个重要因素为分子异构。不同的异构分子（Isomers and isoforms）具有相同的化学式和分子量，但化学结构不同。例如，单糖存在多种异构体，包括葡萄糖、果糖、半乳糖等；多糖由单糖两两通过糖苷键相互连接组成，导致出现更为复杂的构造异构（分子中原子或原子团互相连接次序不同，Structural or constitutional isomers）和立体异构现象（连 接 次 序 相 同 但 空 间 排 列 不 同，Spatial isomers or stereoisomers）。

离子迁移（Ion mobility, IM）与质谱（Mass spectrometry, MS）联用（IM-MS）分析已经发展为生物分子特别是生物大分子结构解析的一种主要手段，并成为质谱仪器发展的主要方向。IM可以区分MS不能区分的异构体或同重素（Isobars），这一独到的特性对生物分子的结构解析研究十分关键，近年来被广泛用于糖结构、脂质结构、蛋白质结构和活性、蛋白质-分子相互作用等研究中。近年来，多种IM分析方法被纷纷提出，例如迁移时间DTIMS（Drift time ion mobility spectrometry）、囚禁式TIMS（Trapped ion mobility spectrometry）、行波TWIMS（Travelling wave ion mobility spectrometry）以及非对称场FAIMS（Field asymmetric ion mobility spectrometry）等。然而，这些技术均基于低E/N场原理（E/N < 30 Td，E代表电场场强，N代表中性气体数密度，Td是Townsend数），分离分辨率一般在40-200，不足以解决目前生物分子异构体解析研究的迫切需求。

针对以上难题，清华大学精密仪器系生物医学仪器与应用研究团队向高E/N场寻求突破离子迁移分析低分辨率的局限，提出一种超高场离子云扫描技术，并在Mini β质谱仪器系统（PURSPEC科技（北京）有限公司）上实现迁移分辨率超过10,000的高分辨IM分析，提升较现有技术水平一个数量级以上（图1）。超高场离子云扫描技术采用强迫振荡的物理原理，在超高场（约1×105Td）条件下实现异构体离子的离子云分离，通过扫描激发振荡电压可以获得异构体离子的高分辨IM谱图。

图1.离子云扫描分析技术的仪器设置、原理和性能表征。（a）Mini β质谱仪器系统。（b）实验装置示意图。（c）离子云扫描技术原理。强迫振动下的两种异构体离子（紫色和蓝色）的离子轨迹。（d）获得的离子云扫描谱图

利用高场离子云扫描分析技术，对四种二糖异构体（海藻糖、麦芽糖、纤维二糖和乳糖，图2a）开展了结构分析（图2b），并对乳糖和纤维二糖的混合物进行了离子云扫描分析（图2c），并与传统串联质谱分析（图2d）结果对比。从图2d可见，乳糖和纤维二糖具有到相同的碎裂模式，无法通过串联质谱技术加以区分。但这两种异构体可以通过离子云扫描实现完全分离（图2c）。此外，离子云扫描分析技术也展现出优异的定量分析特性（图2e和2f）。

图2. 二糖异构体分析。（a）四种二糖异构体及其（b）离子云扫描谱图。乳糖和纤维二糖混合物的（c）离子云扫描谱图和（d）串级质谱分析谱图。（e）两种二糖标准品及（f）混合物的定量分析结果

图3.脂质与多肽异构体分析。（a）脂质异构方式示意图。各种脂质异构体的离子云扫描谱图：（b）sn异构、（c）碳碳双键位置异构和（d）双键顺反异构。（e）多肽的不同翻译后修饰类型及其异构方式示意图。不同翻译后修饰类型的多肽异构体离子云扫描谱图：（f）甲基化、（g）乙酰化和（h）磷酸化

离子云扫描技术对各类生物分子异构体具有普遍适用性。如图3所示，该技术同样可分辨脂质和多肽分子异构体。研究工作中，离子云扫描方法展现出多种优点，如分析部件结构简单、操作方便、具有强大的时间/空间串级质谱能力等，可以方便地与多类质量分析器联用，用于设计混合型串联分析质谱仪器，在生物分子复杂结构解析上展现出较好的应用前景。

该研究成果近日以“超高场离子云扫描技术实现高分辨生物分子异构体分析研究”（High-Resolution Separation of Bioisomers Using Ion Cloud Profiling）为题发表在《自然·通讯》（Nature Communications）上。

论文第一作者为清华大学精仪系周晓煜副教授，通讯作者为欧阳证教授，其他作者还包括精仪系2020级博士生王卓凡和范菁津，第一完成单位为清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室。研究得到了清华大学化学系瑕瑜教授、精仪系马潇潇副教授与张文鹏助理教授的大力帮助。该研究由国家自然科学基金项目和清华大学精准医学科研项目资助。（清华大学）

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