这两年为三星半导体业务立功最大的是存储芯片部门,贡献的营收、利润达到七八成,而三星的晶圆代工业务虽然有高通这样的 VIP 客户,但在 7nm 节点上高通会转投回台积电,三星要想拉拢到更多的客户,只能从工艺技术上着手了。这也是三星为什么跳过非 EUV 工艺的 7nm 工艺,直接上 7nm LPP EUV 工艺的原因,如今他们的 7nm LPP 工艺已经完成了 Synopsys 的物理认证,意味着 7nm EUV 工艺全球首发了。
在几大半导体公司中,英特尔的 10nm 还没搞定,7nm 就更遥远了,台积电的 7nm 工艺(N7 工艺)量产比较顺利,会有苹果、海思、高通、NVIDIA、AMD 等客户陆续流片、量产,不过台积电的第一代 7nm 工艺还是传统的多重曝光工艺,2019 年的 N7 Plus 工艺才会使用 EUV 光刻工艺。
Globalfoundries 这边也是类似的路线,今年量产的 7nm DUV 还是传统的深紫外光刻工艺,此前号称频率可达 5GHz,AMD 的 7nm Zen 2 处理器会使用 Globalfoundries 的 7nm 工艺,明年初问世,2020 年的再下一代才是 7nm EUV 工艺。
三星在 EUV 工艺上市最激进的,直接跳过了第一代非 EUV 光刻的 7nm 工艺,根据之前的路线图,三星第一个使用 EUV 工艺的就是 7nm LPP 工艺,预定今年下半年量产。日前 Synopsys 与三星联合宣布已经使用后者的 7nm LPP 工艺完成了 IC 验证器的认证工作。
这次认证完成之后,三星的 7nm LPP 工艺可以立即提供认证的运行库,包括 DRC 设计规则检查、LVS 布局与原理图、金属填充技术文件等等,这也意味着三星的 7nm LPP 工艺走入了正轨。
根据之前的消息,ASML 的 EUV 光刻机中,台积电订购了大约 10 台,三星订购了大约 6 台,英特尔订购了 3 台,Globalfoundries 的 EUV 订单数量不详,国内的中芯国际也订购了 1 台 EUV 光刻机用于 7nm 工艺研究,明年初交货。
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