中国最先进! 华力迎来首台光刻机!

中芯国际斥资7.6亿人民币从ASML购买EUV极紫外光刻机,未来可用于生产7nm技术芯片。同样是ASML,长江存储近日也迎来了自己的首台光刻机,193nm浸没式,20~14nm技术用于3D NAND闪存晶体,售价4.5亿人民币。

5月21日上午,在上海浦东新区康桥工业园南区,华力(华虹旗下)进行了自己第一台工艺设备光刻机的搬运。

光刻机(NXT 1980 0DI)仍然由荷兰ASML提供,193nm的双浸入式光刻技术,用于10nm(14~20nm)晶圆的生产,也是国内最先进的浸没式光刻设备。

数据显示,这是该公司的第二条12英寸晶圆生产线,预计每月产能4万片,工艺技术从28纳米开始,最终将具有高性能的14纳米生产能力。

华力12英寸先进生产线建设项目是上海市最大的集成电路产业投资项目,总投资387亿元人民币,项目计划于2022年底建成投产,主要从事芯片生产,重点服务国内设计企业先进芯片的制造,并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造需求。

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