激光调阻机的光束定位系统及矩阵测量系统技术参数详解

激光调阻原理就是利用一束极细的激光束打在厚、薄膜电阻上,通过对电阻体气化蒸发实现厚、薄膜电路的切割。激光束按计算机预定的程序切割厚、薄膜电阻,通过改变厚、薄膜电阻的几何形状从而改变电阻的阻值。随着激光切割过程的进行,同时实时测量电路实时监视厚、薄膜电阻阻值的变化,厚、薄膜电阻的阻值不断接近目标阻值,当厚、薄膜电阻达到目标阻值后激光束关闭,即实现激光调阻过程。

光束定位系统:

——激光扫描范围:60mm X 60mm

——重复定位精度:2.5µm

——激光束运动分辨率:1µm

——定位方式:可编程定位或图像识别自动定位

——快速的响应时间,运动效率高

——高质量反射镜片,不影响激光加工质量

矩阵测量系统:

——电阻测量方式:加电流测电压

四线制、二线制计算机程控

——电阻测量范围:0.1Ω-10MΩ(16bit分辨率)

——电阻测量精度:0.1Ω< Rx < 100Ω ±0.02% + 0.5% / Rx

100Ω< Rx < 100KΩ ±0.02%

100KΩ< Rx < 10MΩ ±0.02% + 0.05% * Rx

——电阻测量速度:25µs

——直流电压分辨率:0.16µV(在10mV满量程条件下)

——探针板:48PIN,任意定义,兼容ESI进口设备

——探针板运动:计算机程序控制

——电压测量范围:±100mV~ ±10V 16bit分辨率

——配备IEEE-488(GPIB)接口,可扩展控制外部仪器测量

发表评论
留言与评论(共有 0 条评论)
   
验证码:

相关文章

推荐文章

'); })();