前言：国内芯片制造领域又一重大突破，打破国外美日高端芯片制造设备的垄断，开发出全球先进的蚀刻机设备，精度高达发丝的2万分之一，并且，全球最大芯片代工厂，中国台湾集成电路公司（台积电），将在其最先进的五纳米芯片制程开发上，采用国产的刻蚀机设备，届时，华为的五纳米麒麟处理器芯片，将首次采用世界领先的国产蚀刻机。

一、国产光刻机、蚀刻机现状

前些日子，中科院的国产光刻机，被媒体大肆宣传，光刻机和蚀刻机，都是芯片加工制造产业的重要设备，二者缺一不可，可以说是芯片制造的魂与魄，光刻机负责在硅片上形成电路，而蚀刻机则负责清理掉多余的部分，可能用文字描述起来，大家觉得非常简单，其实其难度不亚于在米粒上刻出上海的地图，因为芯片制造工艺，目前已处于纳米级，也就是在指甲盖大小的硅片上，雕刻出，比上海地形还复杂的电路图，其难度可想而知。

半导体硅片

目前我国在光刻机产业还比较落后，其实中科院的光刻机并不能实现芯片制造，只能做一些相对简单的应用，更谈不上打破国外的垄断，被很多自媒体过分夸大，我们真正用于芯片制造的商用光刻机产品，还处于90纳米附近，远远落后半导体行业，目前7纳米芯片已经量产，台积电的5纳米也于明年上半年试产。

而光刻机产品我们已经具有世界领先水平，上海的中微半导体，目前已成功研发出5纳米等离子体蚀刻机，并已经过全球最大的晶圆代工厂台积电验证，具备世界领先水平，将被用于全球首条5纳米工艺制程生产线，而华为的麒麟系列处理器芯片，目前全部由台积电代工生产，刚刚发布的麒麟980处理器芯片，就是采用台积电的最新7纳米工艺制程，未来华为的5纳米麒麟处理器芯片，将采用国产先进的蚀刻机设备生产。

中微半导体蚀刻机产品

二、中微半导体突破海外封锁

中微半导体成立于2004年，由40多位半导体设备专家创办，创立之初就高举高打，着手开发40纳米蚀刻机技术，当时国际上半导体制程还处于90纳米时代，所以设备研发成功便一举成名，中微半导体核心团队有600多名员工，来自全球十多个国家和地区，每个人都有很强的专业技术背景。

中微半导体研发人员

中微半导体拥有大量的核心专利，面对西方国家的专利诉讼从未失败，蚀刻机曾经是西方国家的出口管制设备，但自从中微半导体打破国外的技术垄断之后，出口管制既被取消，现如今，中微半导体与美国应用材料、日本东京电子、日本日立、美国泛林集团，共同位列国际半导体设备第一阵营，为先进的半导体技术提供生产设备。