来自罗巴切夫斯基大学化学研究所、以及 G. A. Razuvaev 命名的俄罗斯科学院有机金属化学研究所、以及 D. I. Mendeleev 命名的俄罗斯化学技术大学 (RCTU) 的科学家们的发展，让您创造高效用于合成现代微电子的关键成分——甲硅烷——半导体“电子”硅的前体的催化剂。

俄罗斯化学家率先通过直接、连续、高效合成的方法——感应流悬浮法，获得了基于二氧化硅的多孔吸附剂。硅的感应悬浮是通过两阶段加热实现的：在第一阶段，硅的电导率增加，然后在逆流感应器中转移到悬浮状态并熔化。

“这项开发使得从块状硅样品中产生原子蒸气流成为可能，然后在氧气气氛中冷凝和氧化，并形成纳米颗粒。以得到的二氧化硅为基础，可以得到在三氯硅烷歧化反应中具有高催化活性的催化剂，从而形成甲硅烷，进而形成多晶硅和单晶硅——现代微电子的高纯度和昂贵组分，”该项目的一位作者，NI Lobachevsky 化学研究所工程化学实验室负责人 Andrey Vorotyntsev 说。

硅的两阶段加热

所开发的方法可以在连续非接触模式下获得容量高达 100 g/h 的纳米球形和纳米结构二氧化硅（二氧化硅），大大超过了以前已知的二氧化​硅合成方法。这些类型的二氧化硅是具有高比表面积的催化剂活性位点的有前途的载体，并且有可能将它们成型用于工业过程。

悬浮获得的纳米球状硅颗粒

该研究结果的一篇文章发表在《今日材料化学》杂志上。该开发是在俄罗斯科学基金会 (RFS) 是在资助、俄罗斯联邦科学和高等教育部的财政支持下进行的，作为“离子材料实验室”科学项目的一部分，以及罗巴切夫斯基州立大学战略学术领导力计划“优先 2030”。