「微波应用」CVD单晶金刚石制备—固态微波源助推MPCVD领域进展

CVD金刚石是利用化学气相沉积(CVD)工艺制造的一种人造金刚石,具有更高的利用价值,同时随着技术的进步,可以工业化生产的尺寸也显著扩大,应用价值持续提升,应用领域也进一步拓展,目前已经被广泛应用电子器件、珠宝首饰、激光器、导弹、航天等多个领域。

(图片转自网络)

从技术工艺来看,目前,CVD单晶金刚石的主要制备方法包括微波等离子体CVD法(MPCVD)、直流等离子体CVD法、热丝CVD法(HFCVD)、燃烧火焰CVD法(CFCVD)等。其中我国开发程度最好的是热丝CVD金刚石设备技术,目前已经逐渐开始进行小规模产业化生产,技术水平也不逊于国际领先水平;但在MPCVD领域,中国的相关技术水平还较为落后,未来发展潜力巨大。

沃特塞恩微波源就是助推MPCVD领域发展的一个新型微波能量源,它凭借其优质的可靠性、稳定性、长寿命性能,已经大量替代磁控管在微波等离子体CVD法(MPCVD领域)的使用。

固态微波源可用于MPCVD


根据新思界产业研究中心发布的《2020-2024年中国CVD金刚石行业市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示,近年来,我国CVD金刚石行业加大资金投入,并在MPCVD领域取得了较大进展,CVD金刚石产量得到迅速增长。具体来看,从2014年的34.5万克拉发展到2019年,我国CVD金刚石产量增长至95.8万克拉以上,且在未来仍有着一定的增长空间。而随着技术的不断进步,市场需求的持续增长,我国CVD金刚石行业市场规模也在稳步扩大,发展到2019年已经增长至9750万元以上,与上一年7850万元的市场规模相比,增长近24.2个百分点,市场规模呈现出高速增长趋势。

从市场格局来看,近年来,随着我国CVD金刚石行业技术的不断成熟、市场规模的持续增长以及技术的逐渐扩散,吸引了众多中小型CVD金刚石生产企业加入市场其中,浙江、广东、江苏的中小型CVD金刚石生产企业数量最多,已经达到80余家,且仍在不断的增长中,市场格局较为分散。

新思界行业分析人士表示,CVD金刚石凭借其优秀性能,在多个领域中得到了广泛应用,市场需求增长空间巨大。近年来,随着技术的不断进步,市场需求的持续增长,我国CVD金刚石行业市场规模也在稳步扩大,并在未来仍具备较大发展潜力。

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