9月22-24日，由广东省真空学会、广东省真空产业技术创新联盟主办，广州今泰科技股份有限公司承办的第六届粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省真空学会学术年会在广州科学城举成功举办。

活动设真空装备与工艺、光电薄膜材料与器件、硬质涂层与表面工程、微纳制造专场，特邀中国工程院周克崧院士、李得天院士及10多位知名行业专家做大会报告，交流真空技术在电子信息、半导体器件、新能源开发、工模具涂层、微纳制造领域的最新应用进展。同期举办“先进微纳制造技术与前沿应用高峰论坛”和“微纳制造高层次专家研讨会”。会议得到广东省“岭南科学论坛”项目、广州市“国际学术会议之都”项目的立项资助以及多个科技集团的大力支持。参会人员来自于省内外大专院校、研究院所与公司企业的专家、学者与工程技术人员,是一次高水平高规格、产学研深度融合的学术盛会。

大会特邀报告共12个。兰州空间技术物理研究所李得天院士报告题为“真空测试计量技术及其航天应用的现状与展望”，广东省科学院新材料研究所周克崧院士团队代明江教授报告题为“NiAl基高温防护涂层成分结构设计与演变”，南京大学孙安教授题为“第三代PVD微纳结构表面重塑技术最新进展与应用”，大连理工大学张振宇教授题为“精密超精密加工工艺与装备”，西安交通大学邵金友教授题为“微纳米结构压印制造原理、方法及应用”，中山大学陈军教授题为“ZnO纳米线冷阴极制备及其应用研究”，厦门大学王鸣生教授题为“基于TEM的纳米增材、减材、等材制造”。

张峰教授题为“宽禁带半导体SiC功率器件研究进展及应用”，东北大学刘坤教授题为“面向新兴产业应用的真空环境稀薄气体动力学耦合分析技术”，中国科学院兰州化学物理研究所李红轩教授题为“航天高性能润滑薄膜研究与应用”，中微半导体设备（上海）股份有限公司张凯副总经理题为“半导体产业和半导体设备的市场动态”，爱发科（苏州）技术研究开发有限公司岳磊高级研究员题为“面向后MEMS2.0时代的高可靠性PZT压电薄膜量产技术”。大咖云集，精彩不断，受到与会代表的热捧。

在访谈对话环节，姚若河、胡琅、王启民、苏东艺、高峰、罗志明等6位专家与企业家就“广东省真空产业的机遇与挑战”这一话题进入深入探讨，分享创新创业故事，直面国际形势考验，紧抓行业发展机遇，主动融入国家发展战略。

大会同期举行2022年度广东省真空学会科学技术奖颁奖典礼。北京大学深圳研究生院吴忠振副教授、博顿光电技术有限公司冀鸣总经理获得第三届广东省真空科技创新奖获奖者；广东汇成真空科技股份有限公司、中山凯旋真空科技股份有限公司等单位获得第二届广东省真空科技进步奖；李波等7位作者获得第八届广东省真空科技青年优秀论文奖；马旻旻等5位报告人获得年度青年优秀学术报告奖。

同期还举办了广东省真空学会第六届理事会会议，对学会2022年工作进行总结，并讨论2023年工作计划，增补学会理事5名。

会后，大会组织参会代表前往广州科学城今泰科技、方邦股份和洁特生物等3家上市高科技企业参观，并进行现场交流、项目对接。

文图素材由活动主办方提供